一、測試目的
氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。
單一流向型無塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。
二、 使用儀器
無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如 Shortridge Velgrid 16 點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)（ Hot Wire ）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí) 〈 0.5m/s 以下 〉 準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是 Thermeister 式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問題，也不適用低速。 檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。
三、 測試步驟
(1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。
(2) 取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。
(3) 每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每 1 平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每 4 平方英尺取一點(diǎn)。
(4) 每測量點(diǎn)必須取 5 秒的平均。
(5) 依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。
(6) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。
四、數(shù)據(jù)分析
風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對標(biāo)
準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。
1. 平均值：2. 標(biāo)準(zhǔn)差